半导体&FPD

#行业方案 ·2024-06-23

UV(紫外线)在半导体和 FPD(平板显示)行业有诸多重要应用,具体如下:


  1. 在半导体行业的应用
    • 光刻
      • 曝光光源:在半导体集成电路制造中,光刻是关键工艺。UV 的特定波长,如 I 线(365nm)、H 线(405nm)和 G 线(436nm)等,被广泛应用于光刻工艺中,用于创建复杂的微结构。UV 光源发出的光线通过掩模照射到涂有光刻胶的晶圆上,使光刻胶发生化学反应,从而在晶圆上形成所需的图案。例如,在先进的封装技术中,如晶圆级芯片级封装(WLCSP)、扇出晶圆级封装(FOWLP)、倒装芯片封装、3D-IC 直通硅通孔(TSV)等,光刻工艺都起着至关重要的作用。
      • 光源替代:传统的光刻工艺中常使用汞放电灯作为光源,但随着技术的发展,UV-LED 光源正逐渐取代传统的汞弧灯。UV-LED 光源具有寿命长、输出稳定性高、无需预热或冷却、节能环保等优点,并且能够提供更高的辐射输出和更好的准直特性,可提高光刻的分辨率和生产效率,降低设备的维护成本和拥有成本。
    • 晶圆边缘曝光:这是半导体大批量制造中的一个普遍处理步骤。在高级封装设置中,为了优化良率,需要对晶圆边缘进行单独的高强度曝光处理。UV 光源可作为晶圆边缘曝光设备的理想光源,其具有高功率多色输出,能够匹配相关的 I、H 和 G 线光谱,确保晶圆边缘的曝光效果。
    • 胶水固化:在半导体封装过程中,会使用到各种胶水进行芯片的粘贴、封装等操作。UV 胶水因其快速固化、粘结强度高、可靠性好等优点被广泛应用。使用 UV 光源对胶水进行照射,可使胶水在短时间内快速固化,提高封装的效率和质量。例如,在芯片与基板的粘结、引线键合后的封装等环节,UV 胶水固化都发挥着重要作用。
  2. 在 FPD 行业的应用
    • 光电玻璃薄化:UV 紫外线固化机在光电玻璃薄化领域是非常重要的设备。在光电玻璃薄化生产过程中,通过在玻璃表面涂布一层 UV 胶水,然后用 UV 紫外线固化机进行固化处理,可使 UV 胶水快速固化并形成一层坚硬的保护层。这不仅可以显著提高光电玻璃薄化产品的硬度和耐磨性,减少玻璃表面的刮痕和磨损,提高玻璃的使用寿命,还能有效降低 UV 胶水的残留量和泛黄现象,提高玻璃的透明度和光学性能2
    • 液晶面板封装:在液晶面板的制造过程中,需要对液晶层进行封装,以防止液晶泄漏。UV 胶水是一种常用的封装材料,使用 UV 光源对其进行固化,可以快速实现封装,提高生产效率。同时,UV 固化后的胶水具有良好的密封性和稳定性,能够保证液晶面板的质量。
    • OLED 面板制造:OLED(有机发光二极管)面板的制造过程中,也会用到 UV 技术。例如,在 OLED 材料的固化、封装以及面板的修复等环节,UV 光源都可以发挥作用。UV 固化能够使 OLED 材料快速成型,提高生产效率,并且对 OLED 材料的性能影响较小,有助于保证 OLED 面板的发光效率和寿命。

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